发明名称 |
用于测量薄层的厚度的测量探头 |
摘要 |
本发明涉及一种用于测量薄层的厚度的测量探头,其具有壳体(14),测量探头具有至少一个传感器元件(17),传感器元件(17)沿纵向轴线(16)至少可略微移动地被收纳,且传感器元件(17)包括至少一个第一绕组装置(44),第一绕组装置(44)具有布置在壳体(14)的纵向轴线(16)中的磁性罐形芯(41),且第一线圈(70)和第二线圈(71)分配在第一绕组装置(44)的中心销(42)上,且具有指向待测量的物体的测量表面的中心销(42)上的球形定位盖(21),该盖包括用于配合在测量表面上的承载表面(57),其中第二绕组装置(48)提供成分配给球形定位盖(21),该装置由具有至少一个阿基米德线圈(51)的盘状或环形载体(49)形成,且屏蔽件(83,85)至少部分地设在第一绕组装置(44)与第二绕组装置(48)之间。 |
申请公布号 |
CN103718035A |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
申请号 |
CN201280025307.6 |
申请日期 |
2012.05.24 |
申请人 |
赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
发明人 |
H.菲舍尔 |
分类号 |
G01N27/90(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/90(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
肖日松;胡斌 |
主权项 |
一种用于测量薄层的厚度的测量探头,所述测量探头具有壳体(14),具有至少一个传感器元件(17),所述传感器元件(17)沿纵向轴线(16)至少可略微移动地被收纳,且其包括至少一个第一绕组装置(44),所述第一绕组装置(44)具有沿所述壳体(14)的纵向轴线(16)布置的磁性罐形芯(41),且第一线圈(70)和第二线圈(71)分配给所述罐形芯(41)的中心销(42),且具有指向待测量的物体的所述测量表面的所述中心销(42)上的球形定位盖(21),所述盖包括用于配合到测量表面上的承载表面(57),其特征在于,第二绕组装置(48)提供成分配给所述球形定位盖(21),所述装置由具有至少一个阿基米德线圈(51)的盘状或环形载体(49)形成,且屏蔽件(83,85)至少部分地设在所述第一绕组装置(44)与所述第二绕组装置(48)之间。 |
地址 |
德国辛德尔芬根 |