| 发明名称 | 有关离子束的射线轨迹的控制静电透镜的方法及装置 | ||
| 摘要 | 一种在静电透镜(700)中控制带电粒子束偏向的方法，包括建立对称静电透镜组态，所述组态包括在对称于射线轨迹(702)的未调整位置(L1)上配置多个电极(714,716)，所述多个电极被施加一组未调整电压，以产生相对对称于射线轨迹的场。对应于未调整电压的对称电场被计算。多个下部电极(716)被安排至不对称于射线轨迹的调整位置(L2)上。一组调整电压由下部电极得到。其中，所述的一组调整电压在对称电场的各自调整位置上具有一组各自相应的电位。当带电粒子通过时，此组调整电压被施加被于不对称的透镜组态。 | ||
| 申请公布号 | CN103688334A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201180063161.X | 申请日期 | 2011.12.12 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 史费特那·瑞都凡诺;彼德·L·凯勒曼;法兰克·辛克莱;罗伯特·C·林德柏格 |
| 分类号 | H01J37/12(2006.01)I;H01J37/15(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 一种在静电透镜中控制带电粒子束偏向的方法，其特征在于，包括：建立对称静电透镜组态，该组态包括：在对称于带电粒子束的中央射线轨迹的未调整位置上配置多个电极，所述多个电极被施加未调整电压，以产生相对对称于中央射线轨迹的场；计算相应于该组未调整电压的对称电场；安排所述多个电极至不对称于中央射线轨迹的调整位置；获得用于所述多个电极的一组调整电压，其中，该组调整电压在该对称电场中的各自调整的不对称位置上具有一组各自相应的电位；以及当带电粒子束通过时，将该组调整电压施加于不对称的透镜组态。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 | ||