用于质谱分析的真空紫外光电离和化学电离的复合电离源

摘要

本发明涉及质谱分析仪器，具体的说是真空紫外光电离和化学电离的复合电离源，包括真空紫外光源和电离源腔体；在电离源腔体内部、沿真空紫外光出射方向依次设置有离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板，离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板相互间隔、同轴、平行设置；离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板均为板式结构，中心部位设置有通孔，真空紫外光的光束平行于电极轴线方向穿过各电极通孔的中心区域。本电离源利用单一的真空紫外光源在一定电离源气压条件下实现真空紫外光电离和化学电离两种电离模式的切换，大大扩宽了仪器可检测样品的范围。

主权项

用于质谱分析的真空紫外光电离和化学电离的复合电离源，包括真空紫外光源(3)和电离源腔体(13)，于电离源腔体(13)侧壁上设置有气体出口，于电离源腔体(13)侧壁上开有通孔，通过真空管路连接有真空规(16)；其特征在于：真空紫外光源(3)发出的真空紫外光(19)位于电离源腔体(13)的内部，在电离源腔体(13)内部、沿真空紫外光(19)出射方向依次设置有离子加速电极(4)、离子推斥电极(5)、离子引出电极(7)和差分接口极板(8)，离子加速电极(4)、离子推斥电极(5)、离子引出电极(7)和差分接口极板(8)相互间隔、同轴、平行设置；离子加速电极(4)、离子推斥电极(5)、离子引出电极(7)和差分接口极板(8)均为板式结构，中心部位设置有通孔，其中，离子引出电极(7)为1块或1块以上相互间隔、同轴、平行设置的板式结构；真空紫外光(19)的光束平行于电极轴线方向穿过各电极通孔的中心区域；一试剂气体进样管(1)穿过电离源腔体(13)的外壁伸入在电离源腔体(13)内部，试剂气体进样管(1)气体出口设置于离子加速电极(4)和离子推斥电极(5)之间相互间隔的区域，其气体出口端正对于真空紫外光(19)的光束设置，试剂气体进样管(1)的气体入口端与试剂气体气源(17)相连；一样品气体进样管(2)穿过电离源腔体(13)的外壁伸入在电离源腔体(13)内部，样品气体进样管(2)气体出口设置于离子推斥电极(5)和离子引出电极(6)之间相互间隔的区域，其气体出口端正对于真空紫外光(19)的光束设置，样品气体进样管(2)的气体入口端与样品气体气源(18)相连；于电离源腔体(13)侧壁上设置有气体出口，气体出口通过真空管路与一侧抽阀门(14)相连，于侧抽阀门(14)的另一端通过真空管路连接有机械真空泵(15)。