成膜装置及靶装置

摘要

本发明提供一种成膜装置及靶装置，其可提高对基板之成膜的生产率。成膜装置(1)具备作为成膜材料之靶(25)和与该靶(25)接触而进行冷却之板状冷却板(22)，靶(25)和冷却板(22)藉由夹具(27)固定，冷却板(22)中，作为与靶(25)对置之面之第1面(22a)的相反侧面即第2面(22b)暴露于压力高于第1面(22a)的气氛中，并且使第1面(22b)之部(22c)向靶(25)侧移位而按压靶(25)。