| 摘要 |
本发明揭示一种工件移载机构76，其将工件W移载至具有环状台86之工件晶舟40。该移载机构76包括：叉主体78，其可在该工件W系放置于其上面的情况下向前及向后移动；停止器部件94，其系提供于该叉主体78之端部分；夹固构件96，其系提供于该叉主体78之最近端侧并具有按压部分102，该按压部分系接触到该工件W的周围边缘并朝该停止器部件94按压该工件W以进行夹固；以及叉升降构件80，其用以升高及降低该叉主体78。当将该等工件W移载至工件晶舟40时，将该夹固构件96之该按压部分102控制成使其不插入至台86之间的间隙中。因此，尽管该等台86之间的间距较小，但该夹固构件96之该按压部分102不妨碍该工件晶舟40。 |
