| 发明名称 | 基板传送装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型的基板传送装置至少包含有：入料区、出料区、加工区、第一轨道、第二轨道、第一搬动模组以及第二搬动模组，该加工区位于该入料区及出料区之间，该第一轨道位于该入料区及该加工区上方，且横跨于该入料区及该加工区之间，该第二轨道位于该出料区及该加工区上方，且横跨于该出料区及该加工区之间，该第一搬动模组装设于该第一轨道处，用以将位于入料区的基板传送至该加工区，该第二搬动模组装设于该第二轨道处，用以将位于加工区的基板传送至该出料区，以达到快速传送具有提高产能的功效。 | ||
| 申请公布号 | CN203386735U | 申请公布日期 | 2014.01.08 |
| 申请号 | CN201320422576.8 | 申请日期 | 2013.07.16 |
| 申请人 | 威至科技股份有限公司 | 发明人 | 杨智强 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 黄超;周春发 |
| 主权项 | 一种基板传送装置，其特征在于，至少包含有：入料区；出料区；加工区，位于该入料区及出料区之间；第一轨道，位于该入料区及该加工区上方，且横跨于该入料区及该加工区之间；第二轨道，位于该出料区及该加工区上方，且横跨于该出料区及该加工区之间；第一搬动模组，装设于该第一轨道处，用以将位于入料区的基板传送至该加工区；以及第二搬动模组，装设于该第二轨道处，用以将位于加工区的基板传送至该出料区。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县中坜市长春六路17号1楼 | ||