Sensormodul mit Weckeinrichtung

摘要

Mikromechanik-basiertes Sensormodul (1) mit wenigstens einer bewegbaren Struktur (2), wenigstens einem aktiven Primärwandler (8) zum Umwandeln eines mechanischen Signals der bewegbaren Struktur (2) in ein elektrisches Signal und einer elektronischen Schaltung (18) zum messtechnischen Erfassen von Bewegungen der bewegbaren Struktur (2), wobei das Sensormodul (1) neben dem aktiven Primärwandler (8), der für die Erfüllung seiner Messaufgabe mit Hilfsenergie versorgt werden muss, wenigstens einen passiven Sekundärwandler (9) zum Umwandeln eines mechanischen Signals in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Primärwandler (8) und der Sekundärwandler (9) mit der elektronischen Schaltung (18) gekoppelt sind, und wobei der Sekundärwandler (9) als Aufweckgenerator für den Primärwandler (8) und/oder die elektronische Schaltung (18) von einem Ruhezustand in einen Messzustand vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärwandler (9) in die bewegbare Struktur (2) integriert ist, wobei der Sekundärwandler (9) ein passiver Signalwandler ist, der ohne elektrische Energieversorgung selbstständig ein Signal erzeugen kann, und/oder das Sensormodul (1), das eine Sensoreinheit (7), welche den Primärwandler (8) und den Sekundärwandler (9) aufweist, und die elektronische Schaltung (18) aufweist, als integrierter Chip ausgebildet ist und der Sekundärwandler (9) in eine weitere bewegbare Struktur (6) in der elektronischen Schaltung (18) integriert ist, wobei die weitere bewegbare Struktur (6) in einer Verdrahtungsebene der integrierten elektronischen Schaltung (18) ausgebildet ist, wobei der integrierte Sekundärwandler (9) ein passiver Signalwandler ist, der ohne elektrische Energieversorgung selbstständig ein Signal erzeugen kann.