发明名称 抛光液及化学机械抛光(CMP)方法
摘要
申请公布号 TWI421317 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW095139028 申请日期 2006.10.23
申请人 3M新设资产公司 美国 发明人 杰佛瑞 史考特 可罗吉
分类号 C09G1/06;C09G1/00;B24B7/20;B24B7/22 主分类号 C09G1/06
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;简秀如 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国