无遮罩微影术之聚焦点最佳化

摘要

主动点阵列投射系统(例如无遮罩光微影投射系统)之聚焦点最佳化于投射系统之中继器内。频率调变器位于邻近于中继器瞳孔处，以变更聚焦点同时将聚焦点形成影像光敏性基板上。