一种用于超精密测量机转台的调心调平装置

摘要

本发明公开了一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘、若干调平装置、调心装置和万向调平板；转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；万向调平板的下部设有凸球面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；转台台面的下安装面直接安装在万向调平板上。本发明的有益效果在于：1)可以用于大口径零件测量转台；2)调心调平装置中的球面配合，具有接触面积大、容易对心、运动平稳和承载能力大等优点；3)球面接触副在使用过程中，两个球面能够相互配研，能够得到更好的接触面积，具有自修整功能，很好地提高了调心调平装置的调整精度、稳定性和可靠性。

主权项

一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，包括转台下静压盘（1）、若干调平装置、调心装置和万向调平板（10）；转台下静压盘（1）顶部设有凹球面（110）和若干对称排布的凹槽；万向调平板（10）的下部设有凸球面（101）和锥形斜面（102）；万向调平板（10）安装于转台下静压盘（1）顶部，万向调平板（10）的凸球面（101）与转台下静压盘（1）的凹球面（110）相配合；调平装置包括调平定位盘（2）、调平螺杆（5）、调平滑轮（6）、调平滑轮轴（7）和调平支座（8）；调平支座（8）安装在转台下静压盘（1）上对应的凹槽中，可沿着转台下静压盘（1）的凹槽移动；调平滑轮轴（7）将调平滑轮（6）连接到调平支座（8）上；调平螺杆（5）与调平支座（8）螺纹配合；调心装置包括若干调心顶丝（3）和转台台面（4）；转台台面（4）的下安装面直接安装在万向调平板（10）上；转台台面（4）的侧面对称设置有若干螺纹通孔，若干调心顶丝（3）设置于对应的螺纹通孔中并与转台台面（4）螺纹连接。