具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其应用

摘要

本发明揭示了一种具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其应用。该薄膜应力测量装置包括多光束图形发生器以及光束位置探测器，所述多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂直排布。本发明提高了薄膜应力测量精度，简化了薄膜应力测量装置的光路布局与装调要求，可被广泛应用于在薄膜应力离线测量装置、薄膜沉积设备、材料外延设备等之中。

主权项

一种具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置，包括多光束图形发生器以及光束位置探测器，其特征在于，它还包括光束位置分离器，所述光束位置分离器包括偏振分光棱镜和1/4波片，所述多光束图形发生器产生的光束依次透过所述偏振分光棱镜、所述1/4波片后被被测薄膜表面反射，然后再次通过所述1/4波片并被所述偏振分光棱镜反射至所述光束位置探测器，所述多光束图形发生器包括激光器、倒置望远准直光学系统、分束器以及准直透镜，所述激光器发出的单束激光经所述倒置望远准直光学系统进行束斑尺寸压缩后入射到所述分束器上并经所述准直透镜形成平行阵列光束，所述多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂直排布。