| 摘要 |
本发明的课题为，提供一种搬送室内的搬送装置不会受到设置场所的高度限制，而可搬出基板处理装置外的基板处理装置。;本发明的解决手段为，基板处理装置1具备：在真空中对基板S实施预定的处理的处理室10a至10c；和连结于处理室10a至10c，且被保持在真空中，同时具备将基板S进行搬送的搬送装置50之搬送室20；和设置于搬送室20与大气侧之基板收纳容器40之间的装载锁定室30，且于装载锁定室30的下方存在空间310，搬送装置50可分割成上部构造500A与下部构造500B，上部搬送构造500A可从搬送室20的上方搬出基板处理装置外，下部构造500B可从搬送室20的下侧经由装载锁定室30之下方的空间310搬出装置外。 |
