载台装置与曝光装置

摘要

一种可将物体进行保持并可沿导向构件驱动之可动部小型化或轻量化的载台装置，且其使驱动该可动部时的振动难以传播到该物体上。此载台装置包括：以与导向面31a的上方直交的形态配置之Y轴导向装置33Y及X轴导向装置33X；沿导向装置进行移动的Y轴滑块39及X轴滑块40；与Y轴滑块39及X轴滑块40连结并保持晶圆W之晶圆载台WST，以及将Y轴滑块39和X轴滑块40利用柔性构造进行连结的连结构件。