一种制备新型前驱物合金及吸收层薄膜的方法

摘要

本发明目的是提供一种制备新型前趋物合金及吸收层薄膜的方法，本设计乃以具有可调变三元以上前趋物合金成份制作吸收层前躯体，控制前躯体的成分设计，使得前驱物在硒化处理温度升温尚未达到硒的熔化温度(200℃-250℃)前不会产生相变化，确保硒化过程能够在一定的温度范围内完全反应完成(500-650℃)，并使硒化后的薄膜表面达到最佳的平坦度，有利于后续简化缓冲层及光窗层的制作。有助于降低CIGS太阳能电池生产成本，提高转换效率，满足了量产的需求。

主权项

一种制备新型多元前趋物合金及吸收层薄膜的方法，其特征为：将重量比例的材料放入真空感应熔炼炉中进行熔炼，然后浇铸在三寸的低碳钢的模具中，待降温12小时候脱膜取出靶材胚体经机加工成三寸溅镀用靶材备用；然后以无碱玻璃为基板，接着把所需镀着玻璃基材和溅镀用靶材放入溅镀腔体中，先以DC电源溅镀第一层500nm厚的Mo薄膜，然后溅镀第二层CIG吸收层前趋物薄膜，接着将镀制好薄膜放在硒化炉中进行后硒化，然后取出试片，即得。