镀膜装置

摘要

一种镀膜装置，包括镀膜室、安装在该镀膜室内的镀膜件放置板、蒸镀装置。蒸镀装置与镀膜件放置板相对设置。镀膜件放置板为一平板。镀膜装置还包括设于镀膜室内，且位于蒸镀装置与镀膜件放置板之间的等离子体发射器。等离子体发射器包括相互平行且共面的多个等离子体发射管，多个等离子体发射管所形成的平面与镀膜件放置板平行。该镀膜装置的镀膜效果较好。

主权项

一种镀膜装置，包括镀膜室、安装于该镀膜室内的镀膜件放置板、蒸镀装置，该蒸镀装置与该镀膜件放置板相对设置，其改良在于：该镀膜件放置板为一平板，该镀膜装置还包括设于该镀膜室内，且位于该蒸镀装置与该镀膜件放置板之间的等离子体发射器，该等离子体发射器包括相互平行且共面的多个用于释放出等离子体的等离子体发射管，该多个等离子体发射管所形成的平面与该镀膜件放置板平行。