发明名称 |
可调缝宽的狭缝光阑调整装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置,包括:镜筒;与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒;楔形滑块,轴向固定设置在所述可调节镜筒内;可调狭缝片单元,包括两个对称连接的可调狭缝片,所述可调狭缝片的一端具有导向槽,所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配;锁紧单元,与所述镜筒连接。本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动,在楔形滑块的作用下,可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动,从而调节缝宽,结构紧凑,稳定性高;本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心,在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动,调整到需要的宽度后不需要再对准,操作简单可靠。 |
申请公布号 |
CN203287600U |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201320284563.9 |
申请日期 |
2013.05.22 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
赵丽丽 |
分类号 |
G02B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,包括:镜筒;与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒;楔形滑块,轴向固定设置在所述可调节镜筒内;可调狭缝片单元,包括两个对称连接的可调狭缝片,所述可调狭缝片的一端具有导向槽,所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配;锁紧单元,与所述镜筒连接。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |