发明名称 Sn合金隆起物的制造方法
摘要 本发明提供一种容易控制Sn合金隆起物的组成的Sn合金隆起物的制造方法。本发明的Sn合金隆起物的制造方法为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法,其具有如下工序:通过电解电镀,在形成于基板(1)上的保护层开口部(2a)内的电极焊盘(3)上形成Sn层(4a);通过电解电镀,在Sn层(4a)上层叠Sn与合金层(4b);及去除保护层(2)后,熔融Sn层(4a)与层叠的合金层(4b)来形成Sn合金隆起物(5)。
申请公布号 CN103339718A 申请公布日期 2013.10.02
申请号 CN201280006685.X 申请日期 2012.01.16
申请人 三菱综合材料株式会社 发明人 八田健志;增田昭裕
分类号 H01L21/60(2006.01)I;C25D5/10(2006.01)I;C25D5/50(2006.01)I;C25D7/00(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 康泉;王珍仙
主权项 一种Sn合金隆起物的制造方法,其为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法,其特征在于,具有如下工序:通过电解电镀,在形成于基板上的保护层开口部内的电极上形成Sn层;通过电解电镀,在所述Sn层上层叠Sn与所述其他金属的合金层;及去除所述保护层后,熔融所述Sn层与所述合金层来形成Sn合金隆起物。
地址 日本东京