发明名称 |
Sn合金隆起物的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种容易控制Sn合金隆起物的组成的Sn合金隆起物的制造方法。本发明的Sn合金隆起物的制造方法为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法,其具有如下工序:通过电解电镀,在形成于基板(1)上的保护层开口部(2a)内的电极焊盘(3)上形成Sn层(4a);通过电解电镀,在Sn层(4a)上层叠Sn与合金层(4b);及去除保护层(2)后,熔融Sn层(4a)与层叠的合金层(4b)来形成Sn合金隆起物(5)。 |
申请公布号 |
CN103339718A |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN201280006685.X |
申请日期 |
2012.01.16 |
申请人 |
三菱综合材料株式会社 |
发明人 |
八田健志;增田昭裕 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;C25D5/10(2006.01)I;C25D5/50(2006.01)I;C25D7/00(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
康泉;王珍仙 |
主权项 |
一种Sn合金隆起物的制造方法,其为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法,其特征在于,具有如下工序:通过电解电镀,在形成于基板上的保护层开口部内的电极上形成Sn层;通过电解电镀,在所述Sn层上层叠Sn与所述其他金属的合金层;及去除所述保护层后,熔融所述Sn层与所述合金层来形成Sn合金隆起物。 |
地址 |
日本东京 |