发明名称 Wafer als Ausgangsmaterial für einen piezoelektrischen Schwingungserzeuger
摘要 Die Erfindung beschreibt und beansprucht einen piezoelektrischen Wafer in Form einer rechteckigen oder quadratischen Schleifplatte als Ausgangsmaterial für einen piezoelektrischen Schwingungserzeuger. Sämtliche vier Eckbereiche D1, D2, D3 und D4 des Wafers sind abgerundet. Dabei sind die Krümmungsradien aller Eckbereiche gleich, bevorzugt haben jedoch mindestens jeweils zwei benachbarte Eckbereiche D1, D2; D3, D4 unterschiedliche Krümmungsradien. Eine Bezugsfläche, die einer Kristallorientierung entspricht, wird durch die beiden ersten gekrümmten Eckbereiche oder die beiden zweiten gekrümmten Eckbereiche spezifiziert. Durch die erfindungsgemässe Ausgestaltung der vier Eckbereiche des Wafers werden Risse, Ausbrechungen und andere mechanische Defekte am Wafer vermieden, welche durch die lokale Einwirkung von Kräften hervorgerufen werden könnten, insbesondere beim Läppen und Polieren des Wafers.
申请公布号 CH698481(B1) 申请公布日期 2013.09.30
申请号 CH20090000231 申请日期 2009.02.12
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 TAKASHI KOBAYASHI
分类号 H03H3/02;B24B37/04;B24B37/08;B24B37/27;B24B37/28;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/23;H01L41/313;H01L41/332;H01L41/337;H01L41/338;H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17 主分类号 H03H3/02
代理机构 代理人
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