摘要 |
一种用于量测一物体(15)与一感测器单元之间的相对移动之光学输入装置,其包括:一具有一雷射腔之雷射装置(3、5),其用于发射一量测射束(13、17);及一各别辐射敏感侦测器(4、6),其用于产生一量测信号,该量测信号表示由再进入该雷射腔之量测射束辐射导致的该雷射装置(3、5)之操作变化。提供一感测器单元,其用于量测沿一作用平面(action plane)中之每一量测轴的相对移动,且使用来自该等感测器单元之一者或每一者的所得量测信号,以藉由对该量测信号之一上升及下降斜坡之偏移频率求和,来确定该输入装置与该物体(15)相对于彼此沿一横截该作用平面之量测轴的距离及/或移动。 |