一种雪崩光电探测器及其高频特性提高方法

摘要

本发明公开了一种雪崩光电探测器，其用于探测目标探测光，并包括纵向依次排列的吸收层(3)、第一电荷层(41)、倍增层(5)、第二电荷层(42)和渡越层(6)，其中第一电荷层(41)为N型掺杂，第二电荷层(42)为P型掺杂。吸收层(3)用于吸收目标探测光，将目标探测光的光子转化为光生自由载流子对；第一电荷层(41)用于调控器件内部电场分布；倍增层(5)用于使进入其中的自由载流子引发雪崩效应，产生雪崩载流子对，雪崩载流子对中的空穴经由所述渡越层(6)纵向漂移至所述雪崩光电探测器的一端。本发明能更好地调节雪崩光电探测器的电容和载流子渡越时间，有利于其高频特性的提高。

主权项

一种雪崩光电探测器，用于探测目标探测光，其包括纵向依次排列的吸收层(3)、第一电荷层(41)、倍增层(5)、第二电荷层(42)和渡越层(6)；所述吸收层(3)用于吸收目标探测光，将目标探测光的光子转化为光生自由载流子对；所述第一电荷层(41)用于调控器件内部电场分布；所述倍增层(5)用于使进入其中的自由载流子引发雪崩倍增效应，产生雪崩载流子对；所述第二电荷层(42)也用于调控器件内部电场分布；所述渡越层(6)用于调节所述雪崩光电探测器中载流子的渡越时间和/或电容；其中，所述渡越层(6)、第二电荷层(42)与所述吸收层(3)、第一电荷层(41)分处所述倍增层(5)的两侧。