末端执行器的磁性垫片

摘要

本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本发明的一个实施例提供了一种设备，其中该设备包含一个或多个末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片设置于其上而并非机械地接合到该一个或多个末端执行器。在一个实施例中，多个末端执行器垫片组件通过磁力耦合到该一个或多个末端执行器。

主权项

一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，包括：基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，包括铁磁材料的该基部构件用以通过磁力被贴附到该末端执行器，其中该基部构件具有用于接触该末端执行器的第一侧以及位于该第一侧对面的第二侧；垫片构件，其耦合到该基部构件，其中该垫片构件具有接触该基部构件的第二侧的第一侧以及位于该垫片构件的第一侧对面的第二侧，并且该垫片构件的第二侧的至少一部分被提升以形成接受且支撑衬底的接触区域；以及固定装置，其接合该基部构件与该垫片构件，其中该基部构件具有两个从该第一侧延伸的柱，并且该两个柱用以内嵌到形成在该末端执行器中的凹部内。