一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽

摘要

本发明提供了一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。通过限定部件支撑所述喷头，并将非喷嘴部分与溶剂相隔离，避免其他部分残留溶剂，所述限定部件和涂布喷头的接触面设于喷嘴上部，两者之间无缝贴合在一起。

主权项

一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，其特征在于：在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。