发明名称 晶体管及其制造方法
摘要 本公开提供了晶体管及其制造方法。该晶体管可以包括:在基板上的栅极;沟道层,具有覆盖栅极的至少一部分的三维(3D)沟道区域;源极电极,接触沟道层的第一区域;以及漏极电极,接触沟道层的第二区域。
申请公布号 CN103227201A 申请公布日期 2013.07.31
申请号 CN201310007163.8 申请日期 2013.01.09
申请人 三星电子株式会社 发明人 李昌承;李周浩;金容诚;金俊成;文彰烈
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 王新华
主权项 一种晶体管,包括:栅极,在基板上;沟道层,具有三维(3D)沟道区域,覆盖所述栅极的至少一部分;源极电极,接触所述沟道层的第一区域;以及漏极电极,接触所述沟道层的第二区域。
地址 韩国京畿道
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