气体流速测定装置及气体流速测定方法

摘要

本发明公开了一种可提高即时测定信赖度、可选择特定的气体进行测定的气体流速测定装置及气体流速测定方法。本发明的气体流速测定装置，包括至少一个气体检测部及控制部。所述气体检测部在至少含有一种气体的混合气体中，将预测定流速的特定气体所吸收的波长的光，照射在特定气体上，检测特定气体对该波长的光量的吸收，提供与所检测出的光量相应的检测信号；所述控制部以所述气体检测部所提供的检测信号为基础，即时算出预检测的特定气体的流速。从而无需其他调整，即可对多种气体混存下的特定气体的流速进行选择性、即时性的测定。

主权项

一种气体流速测定装置，其特征在于，所述气体流速装置包括：在至少含有一种气体的混合气体中，放出预测定流速的特定气体可吸收的波长的光，并检测所述放出的光，提供与检测出的光量相应的检测信号的至少一个的气体检测部；及以所述气体检测部所提供的检测信息为基础，算出所述预测定的特定气体的流速的控制部。