用于确定被抽真空的物体中的气压的方法和装置

摘要

本发明涉及用于将热测量方法应用于确定具有包封部的被抽真空的物体中或者真空元件(1)中的气压的方法和系统，以及在其外侧上的连接片(12)，连接片(12)由两个在连接片的自由边缘的区域内相互连接的箔片侧(2)所限定；根据本发明的系统一方面以下述内容见长，即，连接片的两个箔片侧之间的空间与真空元件的包封部的内部的空间相连通并且至少部分地以开孔的薄的材料层(10)填充，另一方面以用于在材料层处测量连接片的依赖于气压的热量透过系数的装置(14、16)而见长；该测量装置的工作方式是根据本发明的方法的主题。

主权项

用于借助热测量方法来确定具有箔片状包封部的被抽真空的物品中或者真空元件中的气压的方法，其特征在于，在所述被抽真空的物品或者所述真空元件的外侧上的连接片（12）上，依赖于气体压力的热量透过系数在材料层（10）的至少一个位置处被测量，所述连接片由两个箔片（2）形成，所述两个箔片（2）在所述连接片（12）的自由边缘的区域内相互连接并且限定了中间空间，所述中间空间与所述包封部内部的空间相连通并且至少部分地通过开孔的薄的所述材料层（10）填充。