发明名称 | 基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法 | ||
摘要 | 基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法,先制造平面平行微电极,再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统,再进行银纳米粒子介电泳组装,最后进行有序的纳米微结构形成,本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电,使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中,进行正介电泳力的组装,形成有序银纳米微结构的方法,可以有效的实现低成本,又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构,可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。 | ||
申请公布号 | CN103193194A | 申请公布日期 | 2013.07.10 |
申请号 | CN201310069978.9 | 申请日期 | 2013.03.05 |
申请人 | 西安交通大学 | 发明人 | 邵金友;丁玉成;丁海涛;刘维宇 |
分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 贺建斌 |
主权项 | 基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制造平面平行微电极,选择表面绝缘的刚性材料为基底,在其表面做亲水性的表面处理;然后采用溅射或蒸镀工艺在基底表面制备一层厚度为50‑200nm的金,然后刻蚀使其图形化,以形成平面平行微电极;第二步,制造具有光刻胶导向结构的微电极系统,在制造好的平面平行电极上旋涂厚度为0.5‑1.5微米的光刻胶,利用光刻对准工艺实现区域紫外降解,从而在平行微电极之间制作出光刻胶的图形化结构;第三步,银纳米粒子介电泳组装,把微电极系统浸入银纳米粒子悬浮液中,对平面平行电极施加频率为100KHz—500KHz的交流电信号,从而实现银纳米粒子在微电极系统中的组装;第四步,有序的纳米微结构形成,把组装后的微电极系统浸入丙酮中,去除胶结构;把去胶后的微电极系统放入碘和碘化钾的水溶液中,腐蚀掉微电极系统,只在基底上保留了图案化的银结构。 | ||
地址 | 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 |