一种汽油传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及传感器领域，具体涉及一种汽油传感器及其制作方法。所述汽油传感器包括加热电极、测量电极、敏感元件和电源，所述敏感元件附着在测量电极上，其特征在于，所述敏感元件是通过将敏感材料制成浆料，再附着在芯片上煅烧而成，所述芯片为硅片，煅烧温度为550～650，煅烧时间为2～5小时；所述敏感材料包括：70～85％的WO3，1～5％的La2O3，5～8％的SiO2，1～3％的TiO2，1～6％的SnO2，1～3％的Gd2O3，1～2％的MoO3，1～2％的Nd2O3，1～2％的Pt。本发明提供的传感器对汽油的主要成分具有灵敏度高、选择性强、响应时间快、稳定性好等特点。

主权项

一种汽油传感器，包括加热电极、测量电极、敏感元件和电源，所述敏感元件附着在测量电极上，其特征在于，所述敏感元件是通过将敏感材料制成浆料，再附着在芯片上煅烧而成，所述芯片为硅片，煅烧温度为550～650℃，煅烧时间为2～5小时；所述敏感材料包括：70～85%的WO3，1～5%的La2O3，5～8%的SiO2，1～3%的TiO2，1～6%的SnO2，1～3%的Gd2O3，1～2%的MoO3，1～2%的Nd2O3，1～2%的Pt；所述WO3的粒度为5～50nm的粉体材料，La2O3的粒度为5～60nm的粉体材料，SiO2的粒度为10～70nm的粉体材料，TiO2的粒度为5～60nm的粉体材料，SnO2的粒度为5～60nm的粉体材料，Gd2O3的粒度为10～70nm的粉体材料，Pt的粒度为10～50nm的粉体材料，MoO3的粒度为10～70nm的粉体材料，Nd2O3的粒度为10～70nm的粉体材料。