发明名称 |
用于表面辐照的装置 |
摘要 |
为了辐照表面而提出一种具有辐射器的装置(1),其中所述辐射器具有至少一个隧道状的通孔(3)以及机构(8,11),所述机构设计成,使过程气体流过至少一个隧道状的通孔(3)。由此,能够放弃单独的气体输送装置。可选地,所述装置也能够具有辐射器底座(8),所述辐射器底座具有用于输送和/或输出过程气体的至少一个通气口(12)。 |
申请公布号 |
CN103189075A |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201180052938.2 |
申请日期 |
2011.10.26 |
申请人 |
欧司朗股份有限公司 |
发明人 |
赫尔穆特·哈尔夫曼;阿克塞尔·洪巴赫;马库斯·罗特 |
分类号 |
A61L2/10(2006.01)I;H01J65/04(2006.01)I;H01J61/30(2006.01)I |
主分类号 |
A61L2/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
张春水;李德山 |
主权项 |
用于辐照表面的装置(1),所述装置具有:辐射器,所述辐射器包括辐射器容器(2,3,5),其中所述辐射器容器具有至少一个隧道状的通孔(3),以及机构(8,11),所述机构(8,11)设计成使过程气体流过所述至少一个隧道状的通孔。 |
地址 |
德国慕尼黑 |