发明名称 用于表面辐照的装置
摘要 为了辐照表面而提出一种具有辐射器的装置(1),其中所述辐射器具有至少一个隧道状的通孔(3)以及机构(8,11),所述机构设计成,使过程气体流过至少一个隧道状的通孔(3)。由此,能够放弃单独的气体输送装置。可选地,所述装置也能够具有辐射器底座(8),所述辐射器底座具有用于输送和/或输出过程气体的至少一个通气口(12)。
申请公布号 CN103189075A 申请公布日期 2013.07.03
申请号 CN201180052938.2 申请日期 2011.10.26
申请人 欧司朗股份有限公司 发明人 赫尔穆特·哈尔夫曼;阿克塞尔·洪巴赫;马库斯·罗特
分类号 A61L2/10(2006.01)I;H01J65/04(2006.01)I;H01J61/30(2006.01)I 主分类号 A61L2/10(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 张春水;李德山
主权项 用于辐照表面的装置(1),所述装置具有:辐射器,所述辐射器包括辐射器容器(2,3,5),其中所述辐射器容器具有至少一个隧道状的通孔(3),以及机构(8,11),所述机构(8,11)设计成使过程气体流过所述至少一个隧道状的通孔。
地址 德国慕尼黑