晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置

摘要

一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，不同于传统研磨液供应系统全以人工控流换洗过滤器的装置，其至少由两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀。本实用新型由电脑控制大部分过程，增快速度，排除人员疏失、不稳定的情形，增加良率。

主权项

一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，不同于传统研磨液供应系统全以人工控流换洗过滤器的装置，其特征在于：其至少由两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，又于每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，另于每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀。