发明名称 具有合成载体之罗伦兹致动器的微影装置
摘要 本发明揭示一种致动器,该致动器经组态以在一第一部分与一第二部分之间产生一移位力以使该第一部分与该第二部分相对于彼此而移位。该致动器包括:一第一磁体次总成,其附着至一第一部分及一第二部分中之一者;及一导电元件,其附着至该第一部分及该第二部分中之另一者且置放于该第一磁体次总成附近。该第一磁体次总成包括经定向成使得磁极化大体上互反之至少两个邻近置放之磁体的至少一集合,及一由一磁通量导引材料制成且连接该等磁体以在其间导引一磁通量之背块体。该第一磁体次总成包括一由一非磁通量导引材料制成之载体,该载体包括至少一凹座,其中嵌入背块体及磁体之该至少一集合。
申请公布号 TWI399623 申请公布日期 2013.06.21
申请号 TW097137389 申请日期 2008.09.26
申请人 ASML荷兰公司 荷兰 发明人 派特斯 玛堤斯 亨里克 弗斯特;玛堤纳斯 爱诺达斯 亨利克斯 特肯
分类号 G03F9/02 主分类号 G03F9/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰