一种化学机械抛光液的制备工艺

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺：将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组，平行的将每组的成分分别进行混合，得到各中间预混物，对中间预混物进行质量控制测试，全部中间预混物检测合格后，进行混合，制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间，极大地提高了产能，降低了生产成本，并且增加了工艺流程质量控制点，提高了质量控制水平，使产品质量保障得到极大提升，降低了生产质量事故风险，因而具有明显的经济价值。

主权项

一种化学机械抛光液的制备工艺，其特征在于包括如下步骤：将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组，平行的将每组的成分分别进行混合，得到各中间预混物，对中间预混物进行质量控制测试，全部中间预混物检测合格后，进行混合，制得化学机械抛光液，其中所述的将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组按如下方案进行：中间预混物1A：研磨颗粒和水；中间预混物2A：流体力学控制剂和水；中间预混物3A：表面活性剂、络合剂、缓蚀剂和杀菌剂中的一种或多种，以及水和pH值调节剂；中间预混物4A：pH值调节剂；或中间预混物1B：流体力学控制剂、研磨颗粒和水；中间预混物2B：表面活性剂、络合剂、缓蚀剂和杀菌剂中的一种或多种，以及水和pH值调节剂；中间预混物3B：pH值调节剂；或中间预混物1C：研磨颗粒和水；中间预混物2C：流体力学控制剂和水；中间预混物3C：缓蚀剂和水；中间预混物4C：表面活性剂、络合剂和杀菌剂中的一种或多种，以及水和pH值调节剂；中间预混物5C：pH值调节剂；或 中间预混物1D：流体力学控制剂、研磨颗粒和水；中间预混物2D：表面活性剂、络合剂、缓蚀剂和杀菌剂中的一种或多种，以及水和pH值调节剂。