| 发明名称 | 金属薄膜制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种金属薄膜的制备方法，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。本发明利用涂覆粘胶剂保护基体的部分表面，并通过清除粘胶剂的方式在薄膜表面形成台阶，保证了金属薄膜台阶结构的完整、边缘清晰。本发明制得的金属薄膜适用于轮廓仪、扫描探针显微镜测量金属薄膜台阶高度并标定薄膜厚度，可用于非接触式、间接的测厚仪器（如：X射线衍射仪、X射线荧光测厚仪）的计量校准。 | ||
| 申请公布号 | CN103132039A | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201310064903.1 | 申请日期 | 2013.02.28 |
| 申请人 | 广东省计量科学研究院 | 发明人 | 张欣宇 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人 | 高之波;邬玥 |
| 主权项 | 金属薄膜制备方法，其特征在于，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。 | ||
| 地址 | 510000 广东省广州市白云区广园中路松柏东街30号 | ||