发明名称 | 高温炉抽真空装置 | ||
摘要 | 一种高温炉抽真空装置,它包括机械泵、高阀、低阀、大阀、扩散泵和泄压阀,其特征在于在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径。本实用新型的一种高温炉抽真空装置,由于在在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径,当硅油蒸气接触到低温的冷径时迅速冷却并凝成液体滴落回扩散泵内,所以有抽取更高级真空的特点。 | ||
申请公布号 | CN202945370U | 申请公布日期 | 2013.05.22 |
申请号 | CN201220585956.9 | 申请日期 | 2012.11.09 |
申请人 | 浙江特锐新能源有限公司 | 发明人 | 刘嘉;陶翔;李世香;张翼 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;F04B41/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B17/00(2006.01)I |
代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人 | 王嘉华 |
主权项 | 一种高温炉抽真空装置,它包括机械泵(1)、高阀(2)、低阀(3)、大阀(4)、扩散泵(6)和泄压阀(7),其特征在于在扩散泵(6)的上端设有含有水冷管的冷径(5)。 | ||
地址 | 314031 浙江省嘉兴市中山西路2889号博尔玛企业园6号7房 |