| 摘要 |
<p>레이저가 집속되는 박막 표적의 위치에는 박막 부재만이 존재하고, 여러 번에 걸쳐 레이저를 집속시켜 박막 부재로부터 이온을 가속시킬 수 있도록 하는 레이저 유도 이온 가속용 박막 부재 제조방법, 박막 표적 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명은 레이저 유도 이온 가속에 사용될 박막 물질을 함유하는 박막 부재 용액을 마련하는 용액마련단계; 상기 박막 부재 용액을 이용하여 베이스기판 상에 박막 부재를 형성하는 박막형성단계; 및 상기 박막 부재가 형성된 베이스 기판을 박리용 용매에 침지하여 상기 박막 부재를 상기 베이스기판으로 부터 분리하는 박막분리단계;를 포함하는 박막 부재 제조방법을 제공한다.</p> |
