发明名称 |
MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置 |
摘要 |
一种MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置,包括:一第一气体入口;一第一气体出口;一第一直通阀门的一端与第一气体入口连通,该第一直通阀门的另一端与第一气体出口连通;一第一旁通阀门的一端与第一直通阀门的一端连接;一第二旁通阀门的一端与第一直通阀门的另一端连接;一第二气体入口;一第二气体出口;一第二直通阀门的一端与第二气体入口连通,该第二直通阀门的另一端与第二气体出口连通;一第三旁通阀门的一端与第二直通阀门的一端连接,该第三旁通阀门的另一端与第一旁通阀门的另一端连接;一第四旁通阀门的一端与第二直通阀门的另一端连接,该第四旁通阀门的另一端与第二旁通阀门的另一端连接;一气体混合器位于第一旁通阀门及第二旁通阀门之间并与之连通。 |
申请公布号 |
CN103088318A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201310009608.6 |
申请日期 |
2013.01.10 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
冉军学;胡强;胡国新;梁勇;熊衍凯;王军喜;曾一平;李晋闽 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置,包括:一第一气体入口;一第一气体出口;一第一直通阀门,该第一直通阀门的一端与第一气体入口连通,该第一直通阀门的另一端与第一气体出口连通;一第一旁通阀门,该第一旁通阀门的一端与第一直通阀门的一端连接;一第二旁通阀门,该第二旁通阀门的一端与第一直通阀门的另一端连接;一第二气体入口;一第二气体出口;一第二直通阀门,该第二直通阀门的一端与第二气体入口连通,该第二直通阀门的另一端与第二气体出口连通;一第三旁通阀门,该第三旁通阀门的一端与第二直通阀门的一端连接,该第三旁通阀门的另一端与第一旁通阀门的另一端连接;一第四旁通阀门,该第四旁通阀门的一端与第二直通阀门的另一端连接,该第四旁通阀门的另一端与第二旁通阀门的另一端连接;一气体混合器,该气体混合器位于第一旁通阀门及第二旁通阀门之间并与之连通。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |