适合酸产生剂之盐及含有该盐之化学增幅阻剂组成物

摘要

本发明提供一种下式(I)所示之盐：;(I);其中环X表示具有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且该单环或多环烃基中之一个或多个氢原子系视需要经具有1至10个碳原子的烷基、具有1至10个碳原子的烷氧基、具有1至4个碳原子的全氟烷基、具有1至10个碳原子的羟烷基或氰基所取代；Q1及Q2各自独立表示氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基；以及A＋表示有机相反离子(counter ion)。;本发明亦提供一种包含该式(I)所示的盐之化学增幅阻剂组成物。