喷嘴头

摘要

本发明是关于一种喷嘴头(2)，用于用于使基板(6)的表面(4)经受至少第一前体(A)及第二前体(B)的连续表面反应。该喷嘴头(2)包括两个或更多细长型前体喷嘴(8，10)，使该基板(6)的该表面(4)经受该第一前体及第二前体(A，B)。根据本发明，该喷嘴头(2)包括位于输出面(5)上的复数个前体喷嘴(8，10)、复数个冲洗气体通道(12)、及复数个排放通道(42，46)，其连续顺序如下：至少一个第一前体喷嘴(8)、第排放通道(42)、冲洗气体通道(12)、第二前体喷嘴(10)、第二排放通道(46)、及冲洗气体通道(12)，可选地重复多次。

主权项

一种喷嘴头(2)，所述喷嘴头用于使基板(6)的表面(4)经受至少第一前体(A)及第二前体(B)的连续表面反应，该喷嘴头(2)具有输出面(5)，所述输出面包括：一个或更多第一供应通道(40)，其用于使该基板(6)的该表面(4)经受该第一前体(A)；一个或更多第二供应通道(44)，其用于使该基板(6)的该表面(4)经受该第二前体(B)；一个或更多冲洗气体通道(12)，其用于使该基板(6)的该表面(4)经受冲洗气体；及一个或更多排放通道(42，46)，其用于排放该第一前体及第二前体(A，B)、以及冲洗气体，其特征在于：该供应通道(40，44)、该冲洗气体通道(12)、及该排放通道(42，46)沿着纵向，且以如下顺序相继配置：冲洗气体通道(12)、第一供应通道(40)、排放通道(42)、冲洗气体通道(12)、第二供应通道(44)、及排放通道(46)，可选地重复多次。