加速度传感器及其构造体

摘要

本发明提供一种加速度传感器，具备呈矩形形状的可动电极(4、5)、连接在可动电极(4、5)的对置的两边的并且支撑可动电极(4、5)并使该可动电极自由摆动的一对横梁(6a、6b、7a、7b)、和分别设置在以连结所述一对横梁(6a、6b、7a、7b)的直线为分界线的所述分界线的一侧及另一侧，且相对于所述可动电极(4、5)的表面空出规定的间隔对置地配置的第1及第2固定电极(20a、20b、21a、21b)。并且，在所述可动电极(4、5)的背面，在所述分界线的一侧及另一侧分别形成有第1及第2凹部(11a、11b、11c、11d、13a、13b、13c、13d、12、14)。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，具备：可动电极，其呈矩形形状；一对横梁，其连接在所述可动电极的对置的两边的中央，支撑该可动电极并使该可动电极自由摆动；框架，其内部包含所述可动电极；第1及第2固定电极，其分别被设置在以连结所述一对横梁的直线为分界线的所述分界线的一侧及另一侧，且相对于所述可动电极的表面空出规定的间隔对置地配置；和第1及第2检测电极，其形成于所述框架，分别与所述第1及第2固定电极电连接，在所述可动电极的背面，在所述分界线的一侧及另一侧分别形成有第1及第2凹部，在所述第1检测电极和第2检测电极之间、第1及第2检测电极和框架之间、以及第1及第2检测电极和所述可动电极之间，形成有间隙。