基板运输处理方法

摘要

本发明公开了一种基板运输处理方法，包括提供多个基板于基板容置卡匣中，第一上手臂与第一下手臂自基板容置卡匣中取出基板中的两基板，并输送至双层进片装置，双层进片装置输送该两基板至基板清洁机台，基板清洁机台将清洁完成的该两基板输送至双层出片装置；第一上手臂与第一下手臂自双层出片装置中取出清洁完成的该两基板，并输送至第一双层取放片装置，将可旋转暂存机台转动一第一角度，第二上手臂与第二下手臂自第一双层取放片装置中取出清洁完成的该两基板，并送至基板加工机台进行加工以及第二上手臂与第二下手臂自基板加工机台中取出加工完成的两基板，并将加工完成的两基板输送至第二双层取放片装置。该方法提升基板的搬运及处理效率。

主权项

一种基板运输处理方法，应用于基板运输处理系统，该基板运输处理系统包括：一基板容置卡匣；一第一机械手臂，对应于该基板容置卡匣设置，该第一机械手臂包含一第一上手臂与一第一下手臂；一基板清洁机台；一暂存机台，设置于该基板清洁机台与该第一机械手臂之间，该暂存机台包含一双层进片装置与一双层出片装置；一可旋转暂存机台，对应于该第一机械手臂设置，该可旋转暂存机台包含一第一双层取放片装置及一第二双层取放片装置；一基板加工机台；以及一第二机械手臂，设置于该可旋转暂存机台与该基板加工机台之间，该第二机械手臂包含一第二上手臂与一第二下手臂，其特征在于，该方法包含：提供多个基板于该基板容置卡匣中；该第一上手臂与该第一下手臂自该基板容置卡匣中取出该些基板中之两基板，并将该两基板输送至该双层进片装置；该双层进片装置输送该两基板至该基板清洁机台；该基板清洁机台对该两基板进行清洁，再将清洁完成的该两基板输送至该双层出片装置；该第一上手臂与该第一下手臂自该双层出片装置中取出清洁完成的该两基板，并将清洁完成的该两基板输送至该第一双层取放片装置；将该可旋转暂存机台转动一第一角度；该第二上手臂与该第二下手臂自该第一双层取放片装置中取出清洁完成的该两基板，并将清洁完成的该两基板输送至该基板加工机台；该基板加工机台对清洁完成的该两基板进行加工；以及该第二上手臂与该第二下手臂自该基板加工机台中取出加工完成的该两基板，并将加工完成的该两基板输送至该第二双层取放片装置。