| 发明名称 | 一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法，其制备方法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀，无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到12mm；密度为4.6—5.2g/cm3，靶的成分为Nb2O4.3-4.9。本发明方法生产过程简单便捷，成本较低。 | ||
| 申请公布号 | CN103045995A | 申请公布日期 | 2013.04.17 |
| 申请号 | CN201210553666.0 | 申请日期 | 2012.12.19 |
| 申请人 | 西北稀有金属材料研究院 | 发明人 | 扈百直;胥小勇;刘孝宁;张红梅;赵清慧;马文卫;马建保;杨小林;胡海霞 |
| 分类号 | C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人 | 徐淑芬 |
| 主权项 | 一种氧化铌旋转靶材，其特征在于该氧化铌旋转靶材成分为Nb2O4.3‑4.9，密度为4.6—5.2g/cm3，厚度可达到12mm。 | ||
| 地址 | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号 | ||