磁性流体真空轴封的轴芯结构

摘要

本实用新型涉及磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于轴芯主体轴径加大及加宽进而可加装一个以上轴承（又称培林）；由上述结构，用户可将此轴芯主体应用于溅镀设备上，以分散因溅镀设备运转时所产生的重荷，而提升轴芯主体的使用寿命，以降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失。

主权项

一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于，该轴芯主体上端与下端比中间部分宽。