发明名称 偏航率传感器和用于运行偏航率传感器的方法
摘要 本发明涉及一种具有衬底和第一科氏元件的偏航率传感器,其中,设有用于激励所述第一科氏元件在第一方向上振动的激励装置,其中,设有用于检测所述第一科氏元件在与所述第一方向基本上垂直的第三方向上的第一偏移的第一检测装置,其特点在于,所述第一科氏元件构造为等臂梁。
申请公布号 CN101903740B 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN200880121428.4 申请日期 2008.11.10
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 J·克拉森;S·格拉奇
分类号 G01C19/5755(2012.01)I 主分类号 G01C19/5755(2012.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 具有一衬底(13)和一第一科氏元件(3)的偏航率传感器(1),其中,设有用于激励所述第一科氏元件(3)在第一方向(X)上振动(6)的激励装置(4),其中,设有用于检测所述第一科氏元件(3)在与所述第一方向(X)基本上垂直的第三方向(Z)上的第一偏移的第一检测装置,其中,所述第一科氏元件(3)构造为摆杆,所述摆杆的旋转轴(8)平行于所述衬底(13)的主延伸平面(100)延伸,其中,所述摆杆关于所述旋转轴(8)具有非对称的质量分布,其特征在于,所述偏航率传感器具有一第二科氏元件(2),其中,所述激励装置(4)设置用于激励所述第二科氏元件(2)在所述第一方向(X)上振动(6),并且,还设有用于检测所述第二科氏元件(2)在与所述第一方向(X)及与所述第三方向(Z)都基本上垂直的第二方向(Y)上的第二偏移的第二检测装置(7)。
地址 德国斯图加特