复合真空计

摘要

本实用新型涉及真空度检测领域，提供了一种用于检测真空容器的真空度，直接显示以（Pa）为单位的真空值的复合式真空计。该真空计包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系统；测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。

主权项

一种复合真空计，其特征在于：包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。