发明名称 一种晶棒切割固定框
摘要 本实用新型涉及半导体生产技术设备的部件,是晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框本体具有凹槽,其特征是:所述的凹槽是圆弧形的凹槽,所述的凹槽是多个的,所述的凹槽中间设置有纹路,这样的晶棒切割固定框具有生产效率更高、切割的质量更好的优点。
申请公布号 CN202826117U 申请公布日期 2013.03.27
申请号 CN201220406596.1 申请日期 2012.08.16
申请人 河南恒昌电子有限公司 发明人 刘宝成
分类号 B28D7/04(2006.01)I 主分类号 B28D7/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框本体具有凹槽,其特征是:所述的凹槽是圆弧形的凹槽。
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