发明名称 OXIDE SINTERED OBJECT, SPUTTERING TARGET COMPRISING THE SINTERED OBJECT, PROCESS FOR PRODUCING THE SINTERED OBJECT, AND PROCESS FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET COMPRISING THE SINTERED OBJECT
摘要
申请公布号 KR20130029440(A) 申请公布日期 2013.03.22
申请号 KR20137003425 申请日期 2009.06.23
申请人 JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION 发明人 SATOH KAZUYUKI;KOIDO YOSHIMASA
分类号 C04B35/50;C04B35/00;C04B35/64;C23C14/34 主分类号 C04B35/50
代理机构 代理人
主权项
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