具有编码器类型位置感测系统之微影装置

摘要

本发明揭示一种微影装置，其包括一经组态以量测该微影装置之一基板台相对于一参考结构之一位置的编码器类型感测系统。该编码器类型感测系统包括一编码器感测头及一编码器感测目标，且该微影装置包含一凹座以容纳该编码器感测目标。