发明名称
摘要
申请公布号 JP5157582(B2) 申请公布日期 2013.03.06
申请号 JP20080085964 申请日期 2008.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/288;H01L29/417;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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