磁控溅射箱体布气结构

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射箱体布气结构，包括内、外两层相互套装的布气管道，内层布气管道安装在外侧布气管道内侧，两者间隔配合；内层布气管道的另一端伸出外层布气管道之外作为进气口；分别在内、外两层布气管道上设置充气孔。内层布气管道的充气孔位于内层布气管道的下表面，外布气管道的充气孔位于外层布气管道的上表面。本实用新型由单筒结构改为双筒结构，所布气体经一次膨胀后，可有效缓冲布气气流，使放气气流更为平稳，有效的提高了箱体布气均匀性。且降低了充气过程中对箱体气氛的扰动，从而保证所镀膜层的均匀性。

主权项

一种磁控溅射箱体布气结构，其特征是：包括内、外两层相互套装的布气管道，外层布气管道固定在靶背面，内层布气管道安装在外侧布气管道内侧；两者间隔配合；所述外层布气管道两端封闭，内层布气管道位于外层布气管道内的一端封闭，内层布气管道的另一端伸出外层布气管道之外作为进气口；分别在内、外两层布气管道上设置充气孔。