| 发明名称 | 负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有：(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量在5000~500000之间的粘结剂用树脂20~90质量%、(b)可光聚合的不饱和化合物3~70质量%、以及(c)光聚合引发剂0.1~20质量%，并且，该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25%以上36%以下。 | ||
| 申请公布号 | CN102937776A | 申请公布日期 | 2013.02.20 |
| 申请号 | CN201210291125.5 | 申请日期 | 2008.12.15 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 井出阳一郎 |
| 分类号 | G03F7/11(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/032(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/11(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有：(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量在5000~500000之间的粘结剂用树脂20~90质量%、(b)可光聚合的不饱和化合物3~70质量%、以及(c)光聚合引发剂0.1~20质量%，并且，前述负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25%以上36%以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||