| 发明名称 | 研磨装置及研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨装置，包括：底盘；研磨头；研磨驱动装置，连接所述底盘和研磨头，用于驱动所述研磨头以研磨置于所述底盘的待研磨器件；终点装置，包括两个电极探头及与所述电极探头电连接的控制装置；其中，所述两个电极探头适于测量流经其间的研磨液的电流数值，所述控制装置与所述研磨驱动装置电连接。本发明还提供一种研磨方法。本发明通过根据所述电流数值的变化监控研磨进程，并进一步地控制研磨进程，避免过研磨对待研磨器件造成损伤。 | ||
| 申请公布号 | CN102922412A | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201110231130.2 | 申请日期 | 2011.08.12 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陈枫 |
| 分类号 | B24B37/04(2012.01)I;B24B37/005(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种研磨装置，其特征在于，包括：底盘；研磨头；研磨驱动装置，连接所述底盘和研磨头，用于驱动所述研磨头以研磨置于所述底盘的待研磨器件；终点装置，包括两个电极探头及与所述电极探头电连接的控制装置；其中，所述两个电极探头适于测量流经其间的研磨液的电流数值，所述控制装置与所述研磨驱动装置电连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||